- сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп (микроскоп)
-
3.2 сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп (микроскоп): Зондовый атомно-силовой микроскоп с нормированными метрологическими характеристиками, формирующий информативный сигнал путем сканирования поверхности острием зонда.
Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации. academic.ru. 2015.